Keithley 吉时利 4200A-SCS半导体参数分析仪
4200A-SCS 半导体参数分析仪 概述
4200A-SCS 是一种可以量身定制、多面集成的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能出色的参数分析仪, 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
- 100 fA测量分辨率
- 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
- 100 μF负载电容
- 四象限操作
- 2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
- AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 频率范围
- ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
- 选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
- 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
- 200 MSa/s,5 ns 采样率
- ±40 V (80 V p-p),±800 mA
- 瞬态波形捕获模式
- 任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
- 两个高速脉冲电压源通道
- ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
- 任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
- 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
- 把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
- 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
- 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
- 降低电缆电容效应
为材料、半导体器件和工艺开发提供优秀的参数分析仪
使用强大的Clarius 软件,可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试,结果清晰明了
参数查看,快速清晰。
推进大胆发现从未如此容易。4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50%,从而实现优异的测量和分析能力。此外,嵌入式测量专业知识提供优异的测试指导,并让您对最终结果充满信心。
特点
- 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
- 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
- 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数
测量、 切换、 重复。
4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换,无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同,四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看,可快速完成测试设置,并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。
特点
- 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
- 用户可配置低电流功能
- 个性化输出通道名称
- 查看实时测试状态
Keithley 4200A-SCS 参数分析仪 规格
型号 | 描述 |
4200A-SCS-PKA 高分辨率 IV 套件 |
4200A-SCS:参数分析仪主机 4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU 4200-PA:一个预放大器 8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具 |
4200A-SCS-PKB 高分辨率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS:参数分析仪主机 4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU 4200-PA:一个预放大器 4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元 8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具 |
4200A-SCS-PKC 高功率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS:参数分析仪主机 4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU 4211-SMU:两个用于高容量设置的高功率 SMU 4200-PA:两个预放大器 4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元 8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具 |
4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件 |
用于使用尖端硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 套件包括: 1 个 4225-PMU 超快 I-V 模块 2 个 4225-RPM 远程预放大器/开关模块 自动化检定套件 (ACS) 软件 超快 BTI 测试项目模块 布线 |
4200A-SCS 仪器和模块
型号 | 说明 | 主要测量 | 范围 | 测量分辨率 |
4200-SMU | 中等功率源测量单元 | DC I-V | ±100 mA, ±210 V | 0.2 μV, 100 fA |
4210-SMU | 高功率源测量单元 | 超低频率 C-V | ±1 A, ±210 V | 0.2 μV, 100 fA |
4200-PA | 远程前端放大器模块 | 准静态 C-V | 扩展所有 SMU 的电流范围 | 0.2 μV, 10 aA |
1 kHz - 10 MHz | ||||
4210-CVU | 电容电压单元 | AC 阻抗 | ±30 V 内置DC 偏置装置(60 V 差分) | - |
C-V, C-f, C-t | 使用 SMU 扩展直流偏置电压至 | |||
±210V | ||||
4200A-CVIV | I-V/C-V 多通道 | DC I-V 和 C-V 自动切换 | - | - |
开关模块 | ||||
脉冲式 I-V | ±40 V (80 V p-p), ±800 mA | |||
SegmentARBR® 多电平脉冲 | 200 MSa/s 同时测量电流和电压 | |||
4225-PMU | 超快速脉冲测量单元 | 瞬态波形捕获 | 2048 个唯一段 | 75 nA |
20 ns 脉宽仅输出时 | ||||
60 ns 脉宽输出同时测流时 | ||||
4225-RPM | 远程前段放大器 / | DC I-V、C-V、脉冲式 I-V | 扩展 4225-PMU 单元的电流范围 | 200 pA |
开关模块 | 间自动切换 | |||
4220-PGU | 高压脉冲发生器单元 | 脉冲式电压源 | ±40 V (80 Vp-p) | - |
Segment ARB® 多电平脉冲 | 2048 个唯一段 | |||
接地单元 | 内置低噪声接地单元 | - | 三同轴连接 : 2.6 A | - |
接线柱 : 9.5 A |
品牌:吉时利(Keithley)
型号:4200A-SCS
名称:半导体参数分析仪
特色:使用吉时利4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪) 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。
4200A-SCS是性能出色的电学特性半导体参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(IV曲线测试)、电容电压曲线测试(CV曲线测试)和超快脉冲IV曲线测量。
型号:4200A-SCS
名称:半导体参数分析仪
特色:使用吉时利4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪) 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。
4200A-SCS是性能出色的电学特性半导体参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(IV曲线测试)、电容电压曲线测试(CV曲线测试)和超快脉冲IV曲线测量。