M4简易型手动探针台 概述

一款基于高校教育与实验室的经济型晶圆测试探针台 人体工程学设计操作简单 ，紧凑的结构设计大大降低了设备占有空间，在保证高精度测试的前提下，又极具性价比，如果您的测试PAD大于30um，M系列则是您在实验室中的首选设备之一。 UPStart模块化结构设计，可增加多个配件实现更多的性能，同时支持后期扩展加载升级。

基本信息

应用方向

广泛应用于晶圆的电学光学测试，包括I-V／C-V测试，RF/mmW测试，高功率、大电流测试，MEMS、光电器件测试，晶圆级失效分析、霍尔测试等。

产品特点

紧凑的结构

轻巧的质量

实惠的价格

高等院校/研究所实验室使用

最大可用于6英寸以内样品测试

同轴丝杠传动结构，线性移动

无回程差设计

10微米以上电极/PAD测试

LD/LED/PD的光强/波长测试

材料/器件的IV/CV特性测试

技术特点

> 全新升级的卡盘移动平台

封闭式移动平台设计，防尘，防误操作，结构美观； 移动平台采用THK精密丝杠传动+线性移动+无间隙回程差设计+卡盘锁紧功能，多方面提升卡盘移动精度。

>带有3段真空吸附控制的卡盘

采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附环固定样品，卡盘每个真空通道均可独立控制。标准卡盘中心吸附孔为1mm直径，亦可根据客户要求定制。同时卡盘角度可360旋转，微旋转调节精度0.002°，方便调节待测样品位置。

> 坚固的机台结构

在针座平台中心采用TNT式立柱结构支撑，配合加厚级铝合金材料提高刚性度，形成更加坚固稳定的针座平台，实现更佳的测量效果。

> 自适应减震底座

自适应减震底座设计，德国进口隔震材料增强弹性支撑，实现不同程度的刚性硬度和承载范围，并有效过滤环境中的震动源干扰，确保探针末端和样品的Pad稳定接触，提升测试的稳定性。

规格参数